- Nació Don Diego en Santisteban en 1607.
- Fue hijo de Don Francisco de Benavides VII Conde de Santisteban y de Doña Brianda de Bazán, hija del Marqués de Santa Cruz.
- Poco se conoce de su infancia. Según Pellicer y Vidania en sus respectivos Memoriales entró de Menino en la Corte, continuando después con el Príncipe Felipe.
- Se sabe que fue muy diestro en las artes de caballería y rejoneo.
- Fueron muchos los títulos y distinciones que obtuvo a lo largo de su vida: Caudillo Mayor del Obispado de Jaén, Gentilhombre de la Cámara del Rey, Alferez Mayor Perpetuo de la Ciudad Ávila, del Consejo de Guerra, Alcaide de los Alcázares de Jaén y de las Fortalezas Reales.
- En 1653 fue nombrado Virrey Capitá General del Reino de Navarra.
- En 1660 fue nombrado por Su Majestad Felipe IV Virrey, Gobernador y Capitá General de las Provincias del Perú hacia donde partió en Noviembre de aquel año y ocupando el cargo el 31 de Julio de 1661 y en ese mismo año fundó la Audiencia de Buenos Aires.
- Murió en Lima el 19 de Marzo de 1666.